Nature.com ஐப் பார்வையிட்டதற்கு நன்றி.வரையறுக்கப்பட்ட CSS ஆதரவுடன் உலாவிப் பதிப்பைப் பயன்படுத்துகிறீர்கள்.சிறந்த அனுபவத்திற்கு, புதுப்பிக்கப்பட்ட உலாவியைப் பயன்படுத்துமாறு பரிந்துரைக்கிறோம் (அல்லது Internet Explorer இல் இணக்கத்தன்மை பயன்முறையை முடக்கவும்).கூடுதலாக, தொடர்ந்து ஆதரவை உறுதிப்படுத்த, தளத்தை பாணிகள் மற்றும் ஜாவாஸ்கிரிப்ட் இல்லாமல் காட்டுகிறோம்.
ஒரே நேரத்தில் மூன்று ஸ்லைடுகளின் கொணர்வியைக் காட்டுகிறது.ஒரே நேரத்தில் மூன்று ஸ்லைடுகளை நகர்த்துவதற்கு முந்தைய மற்றும் அடுத்த பொத்தான்களைப் பயன்படுத்தவும் அல்லது ஒரு நேரத்தில் மூன்று ஸ்லைடுகளை நகர்த்த முடிவில் உள்ள ஸ்லைடர் பொத்தான்களைப் பயன்படுத்தவும்.
நேரடி லேசர் குறுக்கீடு (டிஎல்ஐபி) லேசர் தூண்டப்பட்ட கால மேற்பரப்பு அமைப்புடன் (எல்ஐபிஎஸ்எஸ்) இணைந்து பல்வேறு பொருட்களுக்கான செயல்பாட்டு மேற்பரப்புகளை உருவாக்க அனுமதிக்கிறது.செயல்முறையின் செயல்திறன் பொதுவாக அதிக சராசரி லேசர் சக்தியைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம் அதிகரிக்கப்படுகிறது.இருப்பினும், இது வெப்பத்தின் குவிப்புக்கு வழிவகுக்கிறது, இதன் விளைவாக மேற்பரப்பு வடிவத்தின் கடினத்தன்மை மற்றும் வடிவத்தை பாதிக்கிறது.எனவே, புனையப்பட்ட தனிமங்களின் உருவ அமைப்பில் அடி மூலக்கூறு வெப்பநிலையின் தாக்கத்தை விரிவாகப் படிப்பது அவசியம்.இந்த ஆய்வில், எஃகு மேற்பரப்பு 532 nm இல் ps-DLIP உடன் கோடு-வடிவமைக்கப்பட்டது.இதன் விளைவாக நிலப்பரப்பில் அடி மூலக்கூறு வெப்பநிலையின் விளைவை ஆராய, வெப்பநிலையைக் கட்டுப்படுத்த ஒரு வெப்பமூட்டும் தட்டு பயன்படுத்தப்பட்டது.250 \(^{\circ }\)С க்கு வெப்பப்படுத்துவது, 2.33 முதல் 1.06 µm வரை உருவான கட்டமைப்புகளின் ஆழத்தில் குறிப்பிடத்தக்க குறைவுக்கு வழிவகுத்தது.அடி மூலக்கூறு தானியங்களின் நோக்குநிலை மற்றும் லேசர் தூண்டப்பட்ட மேற்பரப்பு ஆக்சிஜனேற்றம் ஆகியவற்றைப் பொறுத்து பல்வேறு வகையான LIPSS தோற்றத்துடன் இந்த குறைவு தொடர்புடையது.இந்த ஆய்வு அடி மூலக்கூறு வெப்பநிலையின் வலுவான விளைவைக் காட்டுகிறது, இது வெப்பக் குவிப்பு விளைவுகளை உருவாக்குவதற்கு அதிக சராசரி லேசர் சக்தியில் மேற்பரப்பு சிகிச்சை செய்யப்படும்போது எதிர்பார்க்கப்படுகிறது.
அல்ட்ராஷார்ட் பல்ஸ் லேசர் கதிர்வீச்சை அடிப்படையாகக் கொண்ட மேற்பரப்பு சிகிச்சை முறைகள் அறிவியல் மற்றும் தொழில்துறையில் முன்னணியில் உள்ளன, ஏனெனில் அவை மிக முக்கியமான தொடர்புடைய பொருட்களின் மேற்பரப்பு பண்புகளை மேம்படுத்துகின்றன.குறிப்பாக, லேசர் தூண்டப்பட்ட தனிப்பயன் மேற்பரப்பு செயல்பாடு, தொழில்துறை துறைகள் மற்றும் பயன்பாட்டுக் காட்சிகள்1,2,3 ஆகியவற்றில் அதிநவீனமானது.எடுத்துக்காட்டாக, வெர்சிலோ மற்றும் பலர்.லேசர் தூண்டப்பட்ட சூப்பர்ஹைட்ரோபோபசிட்டியின் அடிப்படையில் விண்வெளி பயன்பாடுகளுக்கான டைட்டானியம் கலவைகளில் ஐசிங் எதிர்ப்பு பண்புகள் நிரூபிக்கப்பட்டுள்ளன.எப்பர்லீன் மற்றும் பலர், லேசர் மேற்பரப்பு கட்டமைப்பால் உருவாக்கப்பட்ட நானோமயமாக்கப்பட்ட அம்சங்கள் பயோஃபில்ம் வளர்ச்சியை பாதிக்கலாம் அல்லது எஃகு மாதிரிகள் மீதான தடுப்பை பாதிக்கலாம்.கூடுதலாக, குவாய் மற்றும் பலர்.கரிம சூரிய மின்கலங்களின் ஒளியியல் பண்புகளையும் மேம்படுத்தியது.6 இவ்வாறு, லேசர் கட்டமைப்பானது மேற்பரப்புப் பொருளைக் கட்டுப்படுத்துவதன் மூலம் உயர் தெளிவுத்திறன் கொண்ட கட்டமைப்பு கூறுகளை உருவாக்க அனுமதிக்கிறது1.
இத்தகைய குறிப்பிட்ட கால மேற்பரப்பு கட்டமைப்புகளை உருவாக்குவதற்கு பொருத்தமான லேசர் கட்டமைப்பு நுட்பம் நேரடி லேசர் குறுக்கீடு வடிவமைத்தல் (DLIP) ஆகும்.DLIP ஆனது மைக்ரோமீட்டர் மற்றும் நானோமீட்டர் வரம்பில் உள்ள குணாதிசயங்களைக் கொண்ட மாதிரி மேற்பரப்புகளை உருவாக்குவதற்கு இரண்டு அல்லது அதற்கு மேற்பட்ட லேசர் கற்றைகளின் மேற்பரப்புக்கு அருகில் உள்ள குறுக்கீட்டை அடிப்படையாகக் கொண்டது.லேசர் கற்றைகளின் எண்ணிக்கை மற்றும் துருவமுனைப்பைப் பொறுத்து, DLIP ஆனது பல்வேறு வகையான நிலப்பரப்பு மேற்பரப்பு கட்டமைப்புகளை வடிவமைத்து உருவாக்க முடியும்.டிஎல்ஐபி கட்டமைப்புகளை லேசர் தூண்டப்பட்ட கால மேற்பரப்பு கட்டமைப்புகளுடன் (எல்ஐபிஎஸ்எஸ்) இணைத்து ஒரு சிக்கலான கட்டமைப்பு படிநிலையுடன் மேற்பரப்பு நிலப்பரப்பை உருவாக்குவது ஒரு நம்பிக்கைக்குரிய அணுகுமுறையாகும்.இயற்கையில், இந்த படிநிலைகள் ஒற்றை அளவிலான மாதிரிகளை விட சிறந்த செயல்திறனை வழங்குவதாகக் காட்டப்பட்டுள்ளது13.
LIPSS செயல்பாடானது, கதிர்வீச்சு தீவிரம் பரவலின் மேற்பரப்பிற்கு அருகில் உள்ள பண்பேற்றத்தின் அடிப்படையில் ஒரு சுய-பெருக்கி செயல்முறைக்கு (நேர்மறையான பின்னூட்டம்) உட்பட்டது.பயன்படுத்தப்பட்ட லேசர் பருப்புகளின் எண்ணிக்கை 14, 15, 16 ஆக அதிகரிப்பதால் இது நானோரோஃப்னெஸ் அதிகரிப்பால் ஏற்படுகிறது. பண்பேற்றம் முக்கியமாக ஒளிவிலகல் மற்றும் மின்காந்த புலத்துடன் 15,17,18,19,20,21 உடன் உமிழப்படும் அலையின் குறுக்கீடு காரணமாக ஏற்படுகிறது. சிதறிய அலை கூறுகள் அல்லது மேற்பரப்பு பிளாஸ்மோன்கள்.LIPSS இன் உருவாக்கம் பருப்புகளின் நேரத்தால் பாதிக்கப்படுகிறது22,23.குறிப்பாக, அதிக உற்பத்தித்திறன் மேற்பரப்பு சிகிச்சைகளுக்கு அதிக சராசரி லேசர் சக்திகள் இன்றியமையாதவை.இதற்கு வழக்கமாக அதிக ரிப்பீட் விகிதங்களைப் பயன்படுத்த வேண்டும், அதாவது MHz வரம்பில்.இதன் விளைவாக, லேசர் பருப்புகளுக்கு இடையேயான நேர தூரம் குறைவாக உள்ளது, இது வெப்ப திரட்சி விளைவுகளுக்கு வழிவகுக்கிறது 23, 24, 25, 26. இந்த விளைவு மேற்பரப்பு வெப்பநிலையில் ஒட்டுமொத்த அதிகரிப்புக்கு வழிவகுக்கிறது, இது லேசர் நீக்கத்தின் போது வடிவமைத்தல் பொறிமுறையை கணிசமாக பாதிக்கலாம்.
முந்தைய வேலையில், ருடென்கோ மற்றும் பலர்.மற்றும் Tzibidis மற்றும் பலர்.வெப்பச்சலன கட்டமைப்புகளை உருவாக்குவதற்கான ஒரு வழிமுறை விவாதிக்கப்படுகிறது, இது வெப்ப திரட்சி அதிகரிக்கும் போது அதிக முக்கியத்துவம் பெற வேண்டும்19,27.கூடுதலாக, Bauer மற்றும் பலர்.மைக்ரான் மேற்பரப்பு கட்டமைப்புகளுடன் வெப்ப திரட்சியின் முக்கியமான அளவை தொடர்புபடுத்தவும்.இந்த வெப்பத்தால் தூண்டப்பட்ட கட்டமைப்பு உருவாக்கும் செயல்முறை இருந்தபோதிலும், மீண்டும் மீண்டும் விகிதத்தை அதிகரிப்பதன் மூலம் செயல்முறையின் உற்பத்தித்திறனை மேம்படுத்த முடியும் என்று பொதுவாக நம்பப்படுகிறது28.இருப்பினும், வெப்ப சேமிப்பில் குறிப்பிடத்தக்க அதிகரிப்பு இல்லாமல் இதை அடைய முடியாது.எனவே, மல்டிலெவல் டோபாலஜியை வழங்கும் செயல்முறை உத்திகள், செயல்முறை இயக்கவியல் மற்றும் கட்டமைப்பு உருவாக்கம் ஆகியவற்றை மாற்றாமல் அதிக மறுநிகழ்வு விகிதங்களுக்கு எடுத்துச் செல்ல முடியாது.இது சம்பந்தமாக, அடி மூலக்கூறு வெப்பநிலை DLIP உருவாக்கும் செயல்முறையை எவ்வாறு பாதிக்கிறது என்பதை ஆராய்வது மிகவும் முக்கியமானது, குறிப்பாக LIPSS இன் ஒரே நேரத்தில் உருவாக்கம் காரணமாக அடுக்கு மேற்பரப்பு வடிவங்களை உருவாக்கும் போது.
இந்த ஆய்வின் நோக்கம், ps பருப்புகளைப் பயன்படுத்தி துருப்பிடிக்காத எஃகு DLIP செயலாக்கத்தின் போது விளைந்த மேற்பரப்பு நிலப்பரப்பில் அடி மூலக்கூறு வெப்பநிலையின் விளைவை மதிப்பிடுவதாகும்.லேசர் செயலாக்கத்தின் போது, மாதிரி அடி மூலக்கூறின் வெப்பநிலை 250 \(^\circ\)C வரை வெப்பமூட்டும் தகடு மூலம் கொண்டு வரப்பட்டது.இதன் விளைவாக மேற்பரப்பு கட்டமைப்புகள் கன்ஃபோகல் மைக்ரோஸ்கோபி, ஸ்கேனிங் எலக்ட்ரான் மைக்ரோஸ்கோபி மற்றும் ஆற்றல்-பரவக்கூடிய எக்ஸ்-ரே ஸ்பெக்ட்ரோஸ்கோபி ஆகியவற்றைப் பயன்படுத்தி வகைப்படுத்தப்பட்டன.
முதல் தொடர் சோதனைகளில், எஃகு அடி மூலக்கூறு இரண்டு-பீம் DLIP உள்ளமைவைப் பயன்படுத்தி 4.5 µm மற்றும் அடி மூலக்கூறு வெப்பநிலை \(T_{\mathrm {s}}\) 21 \(^{\circ }\)C, இனி "சூடாக்கப்படாத » மேற்பரப்பு என குறிப்பிடப்படுகிறது.இந்த நிலையில், துடிப்பு ஒன்றுடன் ஒன்று \(o_{\mathrm {p}}\) என்பது ஸ்பாட் அளவின் செயல்பாடாக இரண்டு துடிப்புகளுக்கு இடையிலான தூரமாகும்.இது 99.0% (ஒரு நிலைக்கு 100 பருப்புகள்) முதல் 99.67% (ஒரு நிலைக்கு 300 பருப்புகள்) வரை மாறுபடும்.எல்லா சந்தர்ப்பங்களிலும், ஒரு உச்ச ஆற்றல் அடர்த்தி \(\Phi _\mathrm {p}\) = 0.5 J/cm\(^2\) (குறுக்கீடு இல்லாமல் ஒரு காஸியன் சமமானதற்கு) மற்றும் மீண்டும் மீண்டும் அதிர்வெண் f = 200 kHz பயன்படுத்தப்பட்டது.லேசர் கற்றையின் துருவமுனைப்பு திசையானது நிலைப்படுத்தல் அட்டவணையின் இயக்கத்திற்கு இணையாக உள்ளது (படம் 1a)), இது இரண்டு-பீம் குறுக்கீடு வடிவத்தால் உருவாக்கப்பட்ட நேரியல் வடிவவியலின் திசைக்கு இணையாக உள்ளது.ஸ்கேனிங் எலக்ட்ரான் நுண்ணோக்கி (SEM) ஐப் பயன்படுத்தி பெறப்பட்ட கட்டமைப்புகளின் பிரதிநிதித்துவ படங்கள் படம் காட்டப்பட்டுள்ளன.1a-c.நிலப்பரப்பின் அடிப்படையில் SEM படங்களின் பகுப்பாய்வை ஆதரிக்க, மதிப்பீடு செய்யப்படும் கட்டமைப்புகளில் ஃபோரியர் டிரான்ஸ்ஃபார்ம்ஸ் (FFTகள், டார்க் இன்செட்களில் காட்டப்பட்டுள்ளது) செய்யப்பட்டது.எல்லா சந்தர்ப்பங்களிலும், விளைவான DLIP வடிவியல் 4.5 µm இடைவெளியில் தெரியும்.
வழக்கில் \(o_{\mathrm {p}}\) = 99.0% படம் இருண்ட பகுதியில்.1a, குறுக்கீடு அதிகபட்ச நிலைக்கு தொடர்புடையது, சிறிய இணை கட்டமைப்புகளைக் கொண்ட பள்ளங்களை ஒருவர் அவதானிக்கலாம்.நானோ துகள்கள் போன்ற நிலப்பரப்பில் மூடப்பட்டிருக்கும் பிரகாசமான பட்டைகளுடன் அவை மாறி மாறி வருகின்றன.ஏனெனில் பள்ளங்களுக்கு இடையே உள்ள இணையான அமைப்பு லேசர் கற்றையின் துருவமுனைப்புக்கு செங்குத்தாகத் தோன்றுகிறது மற்றும் \(\Lambda _{\mathrm {LSFL-I}}\) 418\(\pm 65\) nm, சற்று லேசர் \(\lambda\) (532 nm) அலைநீளத்தை விடக் குறைவானது LIPSS எனப்படும் குறைந்த இடஞ்சார்ந்த அதிர்வெண் (LSFL-I)15,18.LSFL-I ஆனது FFT இல் s-வகை சிக்னல் என்று அழைக்கப்படுவதை உருவாக்குகிறது, "s" சிதறல்15,20.எனவே, சமிக்ஞை வலுவான மைய செங்குத்து உறுப்புக்கு செங்குத்தாக உள்ளது, இது DLIP கட்டமைப்பால் உருவாக்கப்படுகிறது (\(\Lambda _{\mathrm {DLIP}}\) \(\தோராயமாக\) 4.5 µm).FFT படத்தில் DLIP வடிவத்தின் நேரியல் கட்டமைப்பால் உருவாக்கப்பட்ட சமிக்ஞை "DLIP-வகை" என குறிப்பிடப்படுகிறது.
DLIP ஐப் பயன்படுத்தி உருவாக்கப்பட்ட மேற்பரப்பு கட்டமைப்புகளின் SEM படங்கள்.உச்ச ஆற்றல் அடர்த்தி \(\Phi _\mathrm {p}\) = 0.5 J/cm\(^2\) (இரைச்சல் இல்லாத காசியனுக்கு சமமானதாக) மற்றும் ஒரு மறுநிகழ்வு விகிதம் f = 200 kHz.படங்கள் மாதிரி வெப்பநிலை, துருவமுனைப்பு மற்றும் மேலடுக்கு ஆகியவற்றைக் காட்டுகின்றன.உள்ளூர்மயமாக்கல் கட்டத்தின் இயக்கம் (a) இல் கருப்பு அம்புக்குறியுடன் குறிக்கப்பட்டுள்ளது.கருப்பு இன்செட் 37.25\(\times\)37.25 µm SEM படத்திலிருந்து பெறப்பட்ட தொடர்புடைய FFT ஐக் காட்டுகிறது (அலைவெக்டார் \(\vec {k}\cdot (2\pi )^ {-1}\) = 200 ஆகும் வரை காட்டப்படும் nm).செயல்முறை அளவுருக்கள் ஒவ்வொரு படத்திலும் குறிக்கப்பட்டுள்ளன.
படம் 1ஐ மேலும் பார்க்கும்போது, \(o_{\mathrm {p}}\) ஒன்றுடன் ஒன்று அதிகரிக்கும் போது, sigmoid சமிக்ஞை FFTயின் x-அச்சியை நோக்கி அதிக அளவில் குவிந்திருப்பதைக் காணலாம்.LSFL-I இன் மீதமுள்ளவை மிகவும் இணையாக இருக்கும்.கூடுதலாக, s-வகை சமிக்ஞையின் ஒப்பீட்டு தீவிரம் குறைந்தது மற்றும் DLIP-வகை சமிக்ஞையின் தீவிரம் அதிகரித்தது.அதிக ஒன்றுடன் ஒன்று அதிக அளவில் உச்சரிக்கப்படும் அகழிகளே இதற்குக் காரணம்.மேலும், வகை s மற்றும் மையத்திற்கு இடையேயான x-அச்சு சமிக்ஞையானது LSFL-I போன்ற அதே நோக்குநிலையைக் கொண்ட ஒரு கட்டமைப்பிலிருந்து வர வேண்டும், ஆனால் நீண்ட காலத்துடன் (\(\Lambda _\mathrm {b}\) \(\தோராயமாக \ ) 1.4 ± 0.2 µm) படம் 1c இல் காட்டப்பட்டுள்ளது).எனவே, அவற்றின் உருவாக்கம் அகழியின் மையத்தில் உள்ள குழிகளின் வடிவமாகும் என்று கருதப்படுகிறது.புதிய அம்சம் ஆர்டினேட்டின் உயர் அதிர்வெண் வரம்பிலும் (பெரிய அலை எண்) தோன்றும்.அகழியின் சரிவுகளில் உள்ள இணையான சிற்றலைகளில் இருந்து சமிக்ஞை வருகிறது, பெரும்பாலும் சம்பவத்தின் குறுக்கீடு மற்றும் சரிவுகளில் முன்னோக்கி பிரதிபலிக்கும் ஒளியின் காரணமாக இருக்கலாம்9,14.பின்வருவனவற்றில், இந்த சிற்றலைகள் LSFL ஆல் குறிக்கப்படுகின்றன \ (_ \ mathrm {edge} \), மற்றும் அவற்றின் சமிக்ஞைகள் – வகை -s \ (_ {\mathrm {p)) \).
அடுத்த பரிசோதனையில், மாதிரியின் வெப்பநிலை "சூடான" மேற்பரப்பு என்று அழைக்கப்படும் கீழ் 250 °C வரை கொண்டு வரப்பட்டது.முந்தைய பிரிவில் (படங்கள் 1a-1c) குறிப்பிடப்பட்ட சோதனைகளின் அதே செயலாக்க மூலோபாயத்தின் படி கட்டமைத்தல் மேற்கொள்ளப்பட்டது.SEM படங்கள் படம் 1d-f இல் காட்டப்பட்டுள்ளபடி விளைந்த நிலப்பரப்பைச் சித்தரிக்கின்றன.மாதிரியை 250 C க்கு சூடாக்குவது LSFL இன் தோற்றத்தில் அதிகரிப்புக்கு வழிவகுக்கிறது, இதன் திசை லேசர் துருவமுனைப்புக்கு இணையாக உள்ளது.இந்த கட்டமைப்புகளை LSFL-II என வகைப்படுத்தலாம் மற்றும் 247 ± 35 nm இன் இடஞ்சார்ந்த காலம் \(\Lambda _\mathrm {LSFL-II}\) உள்ளது.LSFL-II சிக்னல் அதிக முறை அதிர்வெண் காரணமாக FFT இல் காட்டப்படவில்லை.\(o_{\mathrm {p}}\) 99.0 இலிருந்து 99.67\(\%\) (படம். 1d–e) ஆக அதிகரித்ததால், பிரகாசமான பேண்ட் பகுதியின் அகலம் அதிகரித்தது, இது DLIP சமிக்ஞையின் தோற்றத்திற்கு வழிவகுத்தது அதிக அதிர்வெண்களுக்கு மேல்.அலை எண்கள் (குறைந்த அதிர்வெண்கள்) இதனால் FFT இன் மையத்தை நோக்கி மாறுகிறது.படம் 1d இல் உள்ள குழிகளின் வரிசைகள் LSFL-I22,27 க்கு செங்குத்தாக உருவாக்கப்பட்ட பள்ளங்கள் என்று அழைக்கப்படுபவற்றின் முன்னோடிகளாக இருக்கலாம்.கூடுதலாக, LSFL-II குறுகியதாகவும் ஒழுங்கற்ற வடிவமாகவும் மாறியுள்ளது.இந்த விஷயத்தில் நானோகிரைன் உருவ அமைப்பைக் கொண்ட பிரகாசமான பட்டைகளின் சராசரி அளவு சிறியது என்பதையும் கவனத்தில் கொள்ளவும்.கூடுதலாக, இந்த நானோ துகள்களின் அளவு விநியோகம் வெப்பமடையாமல் இருப்பதை விட குறைவாக சிதறடிக்கப்பட்டது (அல்லது குறைந்த துகள் திரட்டலுக்கு வழிவகுத்தது).தரமான முறையில், இதை முறையே 1a, d அல்லது b, e போன்ற புள்ளிவிவரங்களை ஒப்பிடுவதன் மூலம் மதிப்பிடலாம்.
ஒன்றுடன் ஒன்று \(o_{\mathrm {p}}\) மேலும் 99.67% (படம் 1f) ஆக அதிகரித்ததால், பெருகிய முறையில் வெளிப்படையான உரோமங்கள் காரணமாக ஒரு தனித்துவமான நிலப்பரப்பு படிப்படியாக வெளிப்பட்டது.இருப்பினும், இந்த பள்ளங்கள் படம் 1c இல் உள்ளதை விட குறைவாக வரிசைப்படுத்தப்பட்டதாகவும் ஆழமானதாகவும் தோன்றும்.படத்தின் ஒளி மற்றும் இருண்ட பகுதிகளுக்கு இடையே குறைந்த வேறுபாடு தரத்தில் காண்பிக்கப்படுகிறது.c இல் உள்ள FFT உடன் ஒப்பிடும்போது படம் 1f இல் உள்ள FFT ஆர்டினேட்டின் பலவீனமான மற்றும் சிதறிய சமிக்ஞையால் இந்த முடிவுகள் மேலும் ஆதரிக்கப்படுகின்றன.புள்ளிவிவரங்கள் 1b மற்றும் e ஐ ஒப்பிடும் போது சிறிய ஸ்ட்ரைகள் வெப்பமாக்கலில் தெளிவாகத் தெரிந்தன, இது பின்னர் கன்ஃபோகல் மைக்ரோஸ்கோபி மூலம் உறுதிப்படுத்தப்பட்டது.
முந்தைய சோதனைக்கு கூடுதலாக, லேசர் கற்றையின் துருவமுனைப்பு 90 \(^{\circ}\) ஆல் சுழற்றப்பட்டது, இதனால் துருவமுனைப்பு திசையை நிலைப்படுத்தல் தளத்திற்கு செங்குத்தாக நகர்த்தியது.அத்திப்பழத்தில்.2a-c அமைப்பு உருவாக்கத்தின் ஆரம்ப நிலைகளைக் காட்டுகிறது, \(o_{\mathrm {p}}\) = 99.0% unheated (a), heated (b) and heated 90\(^{\ circ }\ ) – கேஸ் சுழலும் துருவமுனைப்புடன் (c).கட்டமைப்புகளின் நானோடோகிராஃபியை காட்சிப்படுத்த, வண்ண சதுரங்களால் குறிக்கப்பட்ட பகுதிகள் படத்தில் காட்டப்பட்டுள்ளன.2d, பெரிதாக்கப்பட்ட அளவில்.
DLIP ஐப் பயன்படுத்தி உருவாக்கப்பட்ட மேற்பரப்பு கட்டமைப்புகளின் SEM படங்கள்.செயல்முறை அளவுருக்கள் படம்.1 இல் உள்ளதைப் போலவே இருக்கும்.படம் மாதிரி வெப்பநிலை \(T_s\), துருவமுனைப்பு மற்றும் துடிப்பு ஒன்றுடன் ஒன்று \(o_\mathrm {p}\) காட்டுகிறது.கருப்பு இன்செட் மீண்டும் தொடர்புடைய ஃபோரியர் மாற்றத்தைக் காட்டுகிறது.(d)-(i) இல் உள்ள படங்கள் (a)-(c) இல் குறிக்கப்பட்ட பகுதிகளின் உருப்பெருக்கம் ஆகும்.
இந்த நிலையில், படம். 2b,c இன் இருண்ட பகுதிகளில் உள்ள கட்டமைப்புகள் துருவமுனைப்பு உணர்திறன் கொண்டவை, எனவே LSFL-II14, 20, 29, 30 என லேபிளிடப்பட்டிருப்பதைக் காணலாம். குறிப்பிடத்தக்க வகையில், LSFL-I இன் நோக்குநிலையும் சுழற்றப்படுகிறது ( படம் 2g, i), இது தொடர்புடைய FFT இல் உள்ள s-வகை சமிக்ஞையின் நோக்குநிலையிலிருந்து பார்க்க முடியும்.LSFL-I காலகட்டத்தின் அலைவரிசை b காலகட்டத்துடன் ஒப்பிடும்போது பெரிதாகத் தோன்றுகிறது, மேலும் அதன் வரம்பு படம் 2c இல் சிறிய காலங்களை நோக்கி மாற்றப்படுகிறது, இது மிகவும் பரவலான s-வகை சமிக்ஞையால் குறிப்பிடப்பட்டுள்ளது.எனவே, பின்வரும் LSFL இடஞ்சார்ந்த காலத்தை வெவ்வேறு வெப்ப வெப்பநிலைகளில் மாதிரியில் காணலாம்: \(\Lambda _{\mathrm {LSFL-I}}\) = 418\(\pm 65\) nm at 21 ^{ \circ }\ )C (படம். 2a), \(\Lambda _{\mathrm {LSFL-I}}\) = 445\(~\pm\) 67 nm மற்றும் \(\Lambda _{\mathrm {LSFL-II }} \) = 247 ± 35 nm 250°C இல் (படம். 2b) s துருவமுனைப்புக்கு.மாறாக, p-polarization மற்றும் 250 \(^{\circ }\)C இன் இடஞ்சார்ந்த காலம் \(\Lambda _{\mathrm {LSFL-I))\) = 390\(\pm 55\ ) nm மற்றும் \(\ Lambda_{\mathrm{LSFL-II}}\) = 265±35 nm (படம் 2c).
குறிப்பிடத்தக்க வகையில், மாதிரி வெப்பநிலையை அதிகரிப்பதன் மூலம், மேற்பரப்பு உருவவியல் இரண்டு உச்சநிலைகளுக்கு இடையில் மாற முடியும் என்பதைக் காட்டுகிறது, இதில் (i) LSFL-I கூறுகளை மட்டுமே கொண்ட மேற்பரப்பு மற்றும் (ii) LSFL-II உடன் மூடப்பட்ட ஒரு பகுதி ஆகியவை அடங்கும்.உலோகப் பரப்புகளில் இந்த குறிப்பிட்ட வகை LIPSS உருவாக்கம் மேற்பரப்பு ஆக்சைடு அடுக்குகளுடன் தொடர்புடையது என்பதால், ஆற்றல் பரவும் எக்ஸ்ரே பகுப்பாய்வு (EDX) செய்யப்பட்டது.அட்டவணை 1 பெறப்பட்ட முடிவுகளை சுருக்கமாகக் கூறுகிறது.செயலாக்கப்பட்ட மாதிரியின் மேற்பரப்பில் வெவ்வேறு இடங்களில் குறைந்தபட்சம் நான்கு நிறமாலைகளை சராசரியாகக் கொண்டு ஒவ்வொரு தீர்மானமும் மேற்கொள்ளப்படுகிறது.வெவ்வேறு மாதிரி வெப்பநிலை \(T_\mathrm{s}\) மற்றும் கட்டமைக்கப்படாத அல்லது கட்டமைக்கப்பட்ட பகுதிகளைக் கொண்ட மாதிரி மேற்பரப்பின் வெவ்வேறு நிலைகளில் அளவீடுகள் மேற்கொள்ளப்படுகின்றன.அளவீடுகள், சிகிச்சை செய்யப்பட்ட உருகிய பகுதிக்கு நேரடியாக கீழே இருக்கும் ஆழமான ஆக்சிஜனேற்றப்படாத அடுக்குகள் பற்றிய தகவல்களையும் கொண்டிருக்கின்றன, ஆனால் EDX பகுப்பாய்வின் எலக்ட்ரான் ஊடுருவல் ஆழத்திற்குள்.இருப்பினும், ஆக்ஸிஜன் உள்ளடக்கத்தை அளவிடும் திறனில் EDX வரையறுக்கப்பட்டுள்ளது என்பதைக் கவனத்தில் கொள்ள வேண்டும், எனவே இங்கே இந்த மதிப்புகள் ஒரு தரமான மதிப்பீட்டை மட்டுமே கொடுக்க முடியும்.
மாதிரிகளின் சிகிச்சை அளிக்கப்படாத பகுதிகள் அனைத்து இயக்க வெப்பநிலைகளிலும் குறிப்பிடத்தக்க அளவு ஆக்ஸிஜனைக் காட்டவில்லை.லேசர் சிகிச்சைக்குப் பிறகு, எல்லா நிகழ்வுகளிலும் ஆக்ஸிஜன் அளவு அதிகரித்தது31.இரண்டு சிகிச்சை அளிக்கப்படாத மாதிரிகளுக்கு இடையே உள்ள அடிப்படை கலவையில் உள்ள வேறுபாடு வணிக எஃகு மாதிரிகள் எதிர்பார்த்தது போலவே இருந்தது, மேலும் ஹைட்ரோகார்பன் மாசுபாட்டின் காரணமாக AISI 304 எஃகுக்கான உற்பத்தியாளரின் தரவுத் தாளுடன் ஒப்பிடும்போது கணிசமாக அதிக கார்பன் மதிப்புகள் காணப்பட்டன.
பள்ளம் நீக்கம் ஆழம் குறைவதற்கான சாத்தியமான காரணங்களைப் பற்றி விவாதிக்கும் முன் மற்றும் LSFL-I இலிருந்து LSFL-II க்கு மாறுவதற்கு, ஆற்றல் நிறமாலை அடர்த்தி (PSD) மற்றும் உயர சுயவிவரங்கள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.
(i) மேற்பரப்பின் அரை-இரு பரிமாண இயல்பாக்கப்பட்ட பவர் ஸ்பெக்ட்ரல் அடர்த்தி (Q2D-PSD) SEM படங்களாகப் படம் 1 மற்றும் 2 இல் காட்டப்பட்டுள்ளது. 1 மற்றும் 2. PSD இயல்பாக்கப்பட்டதால், தொகை சமிக்ஞையில் குறைவு இருக்க வேண்டும் நிலையான பகுதியின் அதிகரிப்பு (k \(\le\) 0.7 µm\(^{-1}\), காட்டப்படவில்லை), அதாவது மென்மை.(ii) தொடர்புடைய சராசரி மேற்பரப்பு உயர சுயவிவரம்.மாதிரி வெப்பநிலை \(T_s\), ஒன்றுடன் ஒன்று \(o_{\mathrm {p}}\), மற்றும் பொருத்துதல் இயங்குதள இயக்கத்தின் நோக்குநிலை \(\vec {v}\) தொடர்பான லேசர் துருவமுனைப்பு E அனைத்து அடுக்குகளிலும் காட்டப்பட்டுள்ளது.
SEM படங்களின் உணர்வைக் கணக்கிட, x அல்லது y திசையில் உள்ள அனைத்து ஒரு பரிமாண (1D) ஆற்றல் நிறமாலை அடர்த்தி (PSD கள்) சராசரியாக அமைக்கப்பட்ட ஒவ்வொரு அளவுருவிற்கும் குறைந்தது மூன்று SEM படங்களிலிருந்து சராசரி இயல்பாக்கப்பட்ட பவர் ஸ்பெக்ட்ரம் உருவாக்கப்பட்டது.தொடர்புடைய வரைபடம் சிக்னலின் அதிர்வெண் மாற்றத்தையும் ஸ்பெக்ட்ரமிற்கு அதன் ஒப்பீட்டு பங்களிப்பையும் காட்டும் படம் 3i இல் காட்டப்பட்டுள்ளது.
அத்திப்பழத்தில்.3ia, c, e, DLIP உச்சம் \(k_{\mathrm {DLIP}}~=~2\pi\) (4.5 µm)\(^{-1}\) = 1.4 µm \ (^{- 1}\) அல்லது ஒன்றுடன் ஒன்று அதிகரிக்கும் போது தொடர்புடைய உயர் ஹார்மோனிக்ஸ் \(o_{\mathrm {p))\).அடிப்படை அலைவீச்சின் அதிகரிப்பு LRIB கட்டமைப்பின் வலுவான வளர்ச்சியுடன் தொடர்புடையது.சாய்வின் செங்குத்தான தன்மையுடன் உயர் ஹார்மோனிக்ஸ் வீச்சு அதிகரிக்கிறது.வரம்புக்குட்பட்ட நிகழ்வுகளாக செவ்வக செயல்பாடுகளுக்கு, தோராயமாக அதிக எண்ணிக்கையிலான அதிர்வெண்கள் தேவை.எனவே, PSD இல் 1.4 µm\(^{-1}\) உச்சம் மற்றும் தொடர்புடைய ஹார்மோனிக்ஸ் ஆகியவை பள்ளத்தின் வடிவத்திற்கான தர அளவுருக்களாகப் பயன்படுத்தப்படலாம்.
மாறாக, படம் 3(i)b,d,f இல் காட்டப்பட்டுள்ளபடி, சூடான மாதிரியின் PSD, அந்தந்த ஹார்மோனிக்ஸில் குறைவான சமிக்ஞையுடன் பலவீனமான மற்றும் பரந்த சிகரங்களைக் காட்டுகிறது.கூடுதலாக, அத்தி.3(i)f இரண்டாவது ஹார்மோனிக் சமிக்ஞை அடிப்படை சமிக்ஞையை விட அதிகமாக இருப்பதைக் காட்டுகிறது.இது சூடான மாதிரியின் மிகவும் ஒழுங்கற்ற மற்றும் குறைவாக உச்சரிக்கப்படும் DLIP கட்டமைப்பை பிரதிபலிக்கிறது (\(T_s\) = 21\(^\circ\)C உடன் ஒப்பிடும்போது).மற்றொரு அம்சம் என்னவென்றால், ஒன்றுடன் ஒன்று \(o_{\mathrm {p}}\) அதிகரிக்கும் போது, இதன் விளைவாக வரும் LSFL-I சமிக்ஞை சிறிய அலை எண்ணை நோக்கி (நீண்ட காலம்) மாறுகிறது.DLIP பயன்முறையின் விளிம்புகளின் அதிகரித்த செங்குத்தான தன்மை மற்றும் நிகழ்வுகளின் கோணத்தில் தொடர்புடைய உள்ளூர் அதிகரிப்பு 14,33 ஆகியவற்றால் இதை விளக்கலாம்.இந்தப் போக்கைத் தொடர்ந்து, LSFL-I சிக்னலின் விரிவாக்கத்தையும் விளக்கலாம்.செங்குத்தான சரிவுகளுக்கு கூடுதலாக, DLIP கட்டமைப்பின் முகடுகளுக்கு கீழேயும் மேலேயும் தட்டையான பகுதிகளும் உள்ளன, இது பரந்த அளவிலான LSFL-I காலங்களை அனுமதிக்கிறது.அதிக உறிஞ்சக்கூடிய பொருட்களுக்கு, LSFL-I காலம் பொதுவாக மதிப்பிடப்படுகிறது:
இதில் \(\theta\) என்பது நிகழ்வின் கோணம், மற்றும் சப்ஸ்கிரிப்ட்கள் s மற்றும் p ஆகியவை வெவ்வேறு துருவமுனைப்புகளைக் குறிக்கின்றன33.
படம் 4 இல் காட்டப்பட்டுள்ளபடி, DLIP அமைப்பிற்கான நிகழ்வுகளின் விமானம் பொதுவாக நிலைப்படுத்தல் தளத்தின் இயக்கத்திற்கு செங்குத்தாக இருக்கும் என்பதைக் கவனத்தில் கொள்ள வேண்டும் (பொருட்கள் மற்றும் முறைகள் பகுதியைப் பார்க்கவும்).எனவே, s-துருவப்படுத்தல், ஒரு விதியாக, நிலையின் இயக்கத்திற்கு இணையாக உள்ளது, மேலும் p-துருவப்படுத்தல் அதற்கு செங்குத்தாக உள்ளது.சமன்பாட்டின் படி.(1), s-துருவமுனைப்புக்காக, LSFL-I சிக்னலின் பரவல் மற்றும் சிறிய அலை எண்களை நோக்கி ஒரு மாற்றம் எதிர்பார்க்கப்படுகிறது.அகழியின் ஆழம் அதிகரிக்கும் போது \(\theta\) மற்றும் கோண வரம்பு \(\theta \pm \delta \theta\) அதிகரிப்பதே இதற்குக் காரணம்.படம் 3ia,c,e இல் உள்ள LSFL-I சிகரங்களை ஒப்பிடுவதன் மூலம் இதைக் காணலாம்.
படத்தில் காட்டப்பட்டுள்ள முடிவுகளின்படி.1c, LSFL\(_\mathrm {edge}\) என்பது அத்தி படத்தில் தொடர்புடைய PSDயிலும் தெரியும்.3ie.அத்திப்பழத்தில்.3ig,h p-polarization க்கான PSD ஐக் காட்டுகிறது.DLIP சிகரங்களில் உள்ள வேறுபாடு சூடான மற்றும் வெப்பமடையாத மாதிரிகளுக்கு இடையில் அதிகமாகக் காணப்படுகிறது.இந்த வழக்கில், LSFL-I இலிருந்து வரும் சிக்னல் DLIP உச்சத்தின் உயர் ஹார்மோனிக்ஸ் உடன் மேலெழுகிறது, இது லேசிங் அலைநீளத்திற்கு அருகிலுள்ள சமிக்ஞையைச் சேர்க்கிறது.
முடிவுகளை இன்னும் விரிவாக விவாதிக்க, படம். 3ii பல்வேறு வெப்பநிலைகளில் DLIP நேரியல் உயர விநியோகத்தின் பருப்புகளுக்கு இடையே உள்ள கட்டமைப்பு ஆழம் மற்றும் ஒன்றுடன் ஒன்று காட்டுகிறது.DLIP கட்டமைப்பின் மையத்தைச் சுற்றிலும் சராசரியாக பத்து தனித்தனி செங்குத்து உயர சுயவிவரங்கள் மூலம் மேற்பரப்பின் செங்குத்து உயர சுயவிவரம் பெறப்பட்டது.ஒவ்வொரு பயன்படுத்தப்படும் வெப்பநிலைக்கும், அதிகரிக்கும் துடிப்பு ஒன்றுடன் ஒன்று கட்டமைப்பின் ஆழம் அதிகரிக்கிறது.சூடேற்றப்பட்ட மாதிரியின் சுயவிவரமானது, s-துருவமுனைப்புக்கு 0.87 µm மற்றும் p-துருவமுனைப்புக்கு 1.06 µm என்ற சராசரி பீக்-டு-பீக் (pvp) மதிப்புகள் கொண்ட பள்ளங்களைக் காட்டுகிறது.மாறாக, சூடேற்றப்படாத மாதிரியின் s-துருவமுனைப்பு மற்றும் p-துருவமுனைப்பு முறையே 1.75 µm மற்றும் 2.33 µm pvp ஐக் காட்டுகிறது.தொடர்புடைய பிவிபி அத்தியில் உள்ள உயர சுயவிவரத்தில் சித்தரிக்கப்பட்டுள்ளது.3iiஒவ்வொரு பிவிபி சராசரியும் எட்டு ஒற்றை பிவிபிகளை வைத்து கணக்கிடப்படுகிறது.
கூடுதலாக, அத்தி.3iig,h நிலைப்படுத்தல் அமைப்பு மற்றும் பள்ளம் இயக்கத்திற்கு செங்குத்தாக p-துருவமுனைப்பு உயர விநியோகத்தைக் காட்டுகிறது.1.75 µm pvp இல் உள்ள s-polarization உடன் ஒப்பிடும்போது p-polarization இன் திசையானது 2.33 µm இல் சற்றே அதிக pvp ஐ விளைவிப்பதால் பள்ளத்தின் ஆழத்தில் நேர்மறையான விளைவைக் கொண்டுள்ளது.இது நிலைப்படுத்தல் இயங்குதள அமைப்பின் பள்ளங்கள் மற்றும் இயக்கத்திற்கு ஒத்திருக்கிறது.இந்த விளைவு, பி-துருவமுனைப்பு வழக்கில் ஒப்பிடும்போது s-துருவமுனைப்பு விஷயத்தில் ஒரு சிறிய கட்டமைப்பால் ஏற்படலாம் (படம். 2f,h ஐப் பார்க்கவும்), இது அடுத்த பகுதியில் மேலும் விவாதிக்கப்படும்.
சூடான மாதிரிகளின் விஷயத்தில் முக்கிய LIPS வகுப்பின் (LSFL-I முதல் LSFL-II வரை) மாற்றம் காரணமாக பள்ளம் ஆழம் குறைவதை விளக்குவதே விவாதத்தின் நோக்கமாகும்.எனவே பின்வரும் கேள்விகளுக்கு பதிலளிக்கவும்:
முதல் கேள்விக்கு பதிலளிக்க, நீக்குதலின் குறைப்புக்கு காரணமான வழிமுறைகளை கருத்தில் கொள்வது அவசியம்.சாதாரண நிகழ்வில் ஒற்றைத் துடிப்புக்கு, நீக்குதல் ஆழம் பின்வருமாறு விவரிக்கப்படலாம்:
இதில் \(\delta _{\mathrm {E}}\) என்பது ஆற்றல் ஊடுருவல் ஆழம், \(\Phi\) மற்றும் \(\Phi _{\mathrm {th}}\) ஆகியவை உறிஞ்சுதல் சரளமாகவும் நீக்குதல் சரளமாகவும் இருக்கும் வாசல், முறையே34.
கணித ரீதியாக, ஆற்றல் ஊடுருவலின் ஆழம் நீக்குதலின் ஆழத்தில் ஒரு பெருக்கல் விளைவைக் கொண்டிருக்கிறது, அதே நேரத்தில் ஆற்றலில் ஏற்படும் மாற்றம் மடக்கை விளைவைக் கொண்டுள்ளது.\(\Phi ~\gg ~\Phi _{\mathrm {th}}\) வரை சரளமான மாற்றங்கள் \(\Delta z\) ஐ பாதிக்காது.இருப்பினும், வலுவான ஆக்சிஜனேற்றம் (உதாரணமாக, குரோமியம் ஆக்சைடு உருவாவதால்) Cr-Cr பிணைப்புகளுடன் ஒப்பிடும்போது வலுவான Cr-O35 பிணைப்புகளுக்கு வழிவகுக்கிறது, இதன் மூலம் நீக்குதல் வாசலை அதிகரிக்கிறது.இதன் விளைவாக, \(\Phi ~\gg ~\Phi _{\mathrm {th}}\) இனி திருப்தியடையாது, இது ஆற்றல் ஃப்ளக்ஸ் அடர்த்தி குறைவதன் மூலம் நீக்குதல் ஆழத்தில் விரைவான குறைவுக்கு வழிவகுக்கிறது.கூடுதலாக, ஆக்சிஜனேற்ற நிலைக்கும் LSFL-II இன் காலத்திற்கும் இடையே உள்ள தொடர்பு அறியப்படுகிறது, இது நானோ கட்டமைப்பில் உள்ள மாற்றங்கள் மற்றும் மேற்பரப்பு ஆக்சிஜனேற்றத்தால் ஏற்படும் மேற்பரப்பின் ஒளியியல் பண்புகள் ஆகியவற்றால் விளக்கப்படலாம்30,35.எனவே, உறிஞ்சுதல் சரளத்தின் சரியான மேற்பரப்பு விநியோகம் \(\Phi\) கட்டமைப்பு காலம் மற்றும் ஆக்சைடு அடுக்கின் தடிமன் ஆகியவற்றுக்கு இடையேயான தொடர்புகளின் சிக்கலான இயக்கவியல் காரணமாகும்.காலத்தைப் பொறுத்து, புலத்தில் கூர்மையான அதிகரிப்பு, மேற்பரப்பு பிளாஸ்மோன்களின் தூண்டுதல், அசாதாரண ஒளி பரிமாற்றம் அல்லது சிதறல் 17,19,20,21 ஆகியவற்றின் காரணமாக உறிஞ்சப்பட்ட ஆற்றல் பாய்மத்தின் விநியோகத்தை நானோ கட்டமைப்பு வலுவாக பாதிக்கிறது.எனவே, \(\Phi\) மேற்பரப்பிற்கு அருகில் மிகவும் சீரற்றதாக உள்ளது, மேலும் \(\டெல்டா _ {E}\) ஒரு உறிஞ்சுதல் குணகம் \(\alpha = \delta _{\mathrm {opt} } உடன் இனி சாத்தியமில்லை. ^ { -1} \தோராயமாக \delta _{\mathrm {E}}^{-1}\) முழு மேற்பரப்புக்கு அருகில் உள்ள தொகுதிக்கு.ஆக்சைடு படத்தின் தடிமன் பெரும்பாலும் திடப்படுத்தும் நேரத்தை [26] சார்ந்து இருப்பதால், பெயரிடல் விளைவு மாதிரி வெப்பநிலையைப் பொறுத்தது.துணைப் பொருளில் படம் S1 இல் காட்டப்பட்டுள்ள ஆப்டிகல் மைக்ரோகிராஃப்கள் ஆப்டிகல் பண்புகளில் ஏற்படும் மாற்றங்களைக் குறிக்கிறது.
இந்த விளைவுகள் 1d,e மற்றும் 2b,c மற்றும் 3(ii)b,d,f இல் சிறிய மேற்பரப்பு கட்டமைப்புகளின் விஷயத்தில் ஆழமற்ற அகழி ஆழத்தை ஓரளவு விளக்குகின்றன.
LSFL-II செமிகண்டக்டர்கள், மின்கடத்தா மற்றும் ஆக்சிஜனேற்றம் 14,29,30,36,37 க்கு வாய்ப்புள்ள பொருட்கள் ஆகியவற்றில் உருவாகிறது.பிந்தைய வழக்கில், மேற்பரப்பு ஆக்சைடு அடுக்கின் தடிமன் குறிப்பாக முக்கியமானது30.EDX பகுப்பாய்வு, கட்டமைக்கப்பட்ட மேற்பரப்பில் மேற்பரப்பு ஆக்சைடுகளின் உருவாக்கத்தை வெளிப்படுத்தியது.எனவே, வெப்பமடையாத மாதிரிகளுக்கு, சுற்றுப்புற ஆக்ஸிஜன் வாயுத் துகள்களின் பகுதி உருவாக்கத்திற்கும் ஓரளவு மேற்பரப்பு ஆக்சைடுகளின் உருவாக்கத்திற்கும் பங்களிப்பதாகத் தெரிகிறது.இரண்டு நிகழ்வுகளும் இந்த செயல்முறைக்கு குறிப்பிடத்தக்க பங்களிப்பை வழங்குகின்றன.மாறாக, சூடான மாதிரிகளுக்கு, பல்வேறு ஆக்சிஜனேற்ற நிலைகளின் உலோக ஆக்சைடுகள் (SiO\(_{\mathrm {2}}\), Cr\(_{\mathrm {n}} \)O\(_{\mathrm { m}}\ ), Fe\(_{\mathrm {n}}\)O\(_{\mathrm {m}}\), NiO, முதலியன 38 சாதகமாக உள்ளன.தேவையான ஆக்சைடு அடுக்குக்கு கூடுதலாக, துணை அலைநீளம் கடினத்தன்மை இருப்பது, முக்கியமாக அதிக இடஞ்சார்ந்த அதிர்வெண் LIPSS (HSFL), தேவையான துணை அலைநீளம் (d-வகை) தீவிரத்தன்மை முறைகள்14,30 உருவாக்க அவசியம்.இறுதி LSFL-II தீவிரம் பயன்முறையானது HSFL அலைவீச்சு மற்றும் ஆக்சைடு தடிமன் ஆகியவற்றின் செயல்பாடாகும்.இந்த பயன்முறைக்கான காரணம், HSFL ஆல் சிதறடிக்கப்பட்ட ஒளியின் தொலைதூர குறுக்கீடு மற்றும் ஒளி பொருளுக்குள் ஒளிவிலகல் மற்றும் மேற்பரப்பு மின்கடத்தாப் பொருளின் உள்ளே பரவுகிறது20,29,30.துணைப் பொருட்கள் பிரிவில் உள்ள படம் S2 இல் மேற்பரப்பு வடிவத்தின் விளிம்பின் SEM படங்கள் முன்பே இருக்கும் HSFL ஐக் குறிக்கின்றன.இந்த வெளிப்பகுதியானது தீவிர விநியோகத்தின் சுற்றளவில் பலவீனமாக பாதிக்கப்படுகிறது, இது HSFL உருவாவதை அனுமதிக்கிறது.தீவிர விநியோகத்தின் சமச்சீர் காரணமாக, இந்த விளைவு ஸ்கேனிங் திசையிலும் நடைபெறுகிறது.
மாதிரி வெப்பமாக்கல் பல வழிகளில் LSFL-II உருவாக்கும் செயல்முறையை பாதிக்கிறது.ஒருபுறம், மாதிரி வெப்பநிலையின் அதிகரிப்பு \(T_\mathrm{s}\) உருகிய அடுக்கின் தடிமனைக் காட்டிலும் திடப்படுத்துதல் மற்றும் குளிர்விக்கும் விகிதத்தில் அதிக விளைவைக் கொண்டிருக்கிறது26.இதனால், சூடான மாதிரியின் திரவ இடைமுகம் நீண்ட காலத்திற்கு சுற்றுப்புற ஆக்ஸிஜனுக்கு வெளிப்படும்.கூடுதலாக, தாமதமான திடப்படுத்தல் திரவ எஃகுடன் ஆக்ஸிஜன் மற்றும் ஆக்சைடுகளின் கலவையை அதிகரிக்கும் சிக்கலான வெப்பச்சலன செயல்முறைகளை உருவாக்க அனுமதிக்கிறது26.பரவல் (\(\Lambda _\mathrm {diff}=\sqrt{D~\times ~t_\mathrm {s}}~\le ~15\) மூலம் உருவான ஆக்சைடு அடுக்கின் தடிமனை ஒப்பிடுவதன் மூலம் இதை நிரூபிக்க முடியும். nm) தொடர்புடைய உறைதல் நேரம் \(t_\mathrm {s}~\le ~200\) ns, மற்றும் பரவல் குணகம் \(D~\le\) 10\(^{-5}\) cm\(^ 2 \ )/ வி) LSFL-II உருவாக்கத்தில் குறிப்பிடத்தக்க அளவு அதிக தடிமன் காணப்பட்டது அல்லது தேவைப்பட்டது30.மறுபுறம், வெப்பமாக்கல் HSFL உருவாவதையும் பாதிக்கிறது, எனவே LSFL-II d-வகை தீவிரத்தன்மை பயன்முறையில் மாறுவதற்குத் தேவைப்படும் சிதறல் பொருள்கள்.மேற்பரப்பிற்கு கீழே சிக்கியுள்ள நானோவாய்டுகளின் வெளிப்பாடு HSFL39 உருவாக்கத்தில் அவற்றின் ஈடுபாட்டைக் குறிக்கிறது.இந்த குறைபாடுகள் HSFL இன் மின்காந்த தோற்றத்தைப் பிரதிநிதித்துவப்படுத்தலாம், ஏனெனில் தேவையான உயர் அதிர்வெண் கால தீவிரத்தன்மை வடிவங்கள்14,17,19,29.கூடுதலாக, இந்த உருவாக்கப்படும் தீவிரத்தன்மை முறைகள் அதிக எண்ணிக்கையிலான நானோவாய்டுகளுடன் மிகவும் சீரானவை19.எனவே, HSFL இன் அதிகரித்த நிகழ்வுக்கான காரணத்தை \(T_\mathrm{s}\) அதிகரிக்கும் போது படிகக் குறைபாடுகளின் இயக்கவியலில் ஏற்படும் மாற்றத்தால் விளக்க முடியும்.
சிலிக்கானின் குளிரூட்டும் வீதம் உள்ளார்ந்த இடைநிலை சூப்பர்சாச்சுரேஷனுக்கான ஒரு முக்கிய அளவுருவாகும், இதனால் இடப்பெயர்வுகள் 40,41 உருவாவதன் மூலம் புள்ளி குறைபாடுகள் குவிவதற்கும் சமீபத்தில் நிரூபிக்கப்பட்டுள்ளது.தூய உலோகங்களின் மூலக்கூறு இயக்கவியல் உருவகப்படுத்துதல்கள், விரைவான மறுபடிகமயமாக்கலின் போது காலியிடங்கள் மிகைப்படுத்தப்படுவதைக் காட்டுகின்றன, எனவே உலோகங்களில் காலியிடங்களின் குவிப்பு இதேபோன்ற முறையில் தொடர்கிறது42,43,44.கூடுதலாக, வெள்ளியின் சமீபத்திய சோதனை ஆய்வுகள் புள்ளி குறைபாடுகளின் திரட்சியின் காரணமாக வெற்றிடங்கள் மற்றும் கொத்துக்களை உருவாக்கும் பொறிமுறையில் கவனம் செலுத்துகின்றன.எனவே, மாதிரியின் வெப்பநிலையில் அதிகரிப்பு \(T_\mathrm {s}\) மற்றும், அதன் விளைவாக, குளிரூட்டும் விகிதத்தில் குறைவு HSFL இன் கருக்களான வெற்றிடங்களின் உருவாக்கத்தை பாதிக்கலாம்.
காலியிடங்கள் துவாரங்களுக்கு தேவையான முன்னோடிகளாக இருந்தால், எனவே HSFL, மாதிரி வெப்பநிலை \(T_s\) இரண்டு விளைவுகளைக் கொண்டிருக்க வேண்டும்.ஒருபுறம், \(T_s\) மறுபடிகமயமாக்கல் விகிதத்தை பாதிக்கிறது, அதன் விளைவாக, வளர்ந்த படிகத்தின் புள்ளி குறைபாடுகளின் (காலியிட செறிவு) செறிவு.மறுபுறம், இது திடப்படுத்தலுக்குப் பிறகு குளிரூட்டும் வீதத்தையும் பாதிக்கிறது, இதன் மூலம் படிக 40,41 இல் புள்ளி குறைபாடுகளின் பரவலை பாதிக்கிறது.கூடுதலாக, திடப்படுத்துதல் வீதம் படிகவியல் நோக்குநிலையைப் பொறுத்தது மற்றும் புள்ளி குறைபாடுகளின் பரவல் 42,43 என அதிக அனிசோட்ரோபிக் ஆகும்.இந்த முன்மாதிரியின்படி, பொருளின் அனிசோட்ரோபிக் பதில் காரணமாக, ஒளி மற்றும் பொருளின் தொடர்பு அனிசோட்ரோபிக் ஆகிறது, இது இந்த உறுதியான கால ஆற்றலின் வெளியீட்டை பெருக்குகிறது.பாலிகிரிஸ்டலின் பொருட்களுக்கு, இந்த நடத்தை ஒரு தானியத்தின் அளவால் வரையறுக்கப்படலாம்.உண்மையில், LIPSS உருவாக்கம் தானிய நோக்குநிலை46,47 ஐப் பொறுத்து நிரூபிக்கப்பட்டுள்ளது.எனவே, படிகமயமாக்கல் விகிதத்தில் மாதிரி வெப்பநிலை \(T_s\) விளைவு தானிய நோக்குநிலையின் விளைவைப் போல வலுவாக இருக்காது.இவ்வாறு, வெவ்வேறு தானியங்களின் வெவ்வேறு படிக நோக்குநிலை முறையே HSFL அல்லது LSFL-II இன் வெற்றிடங்களின் அதிகரிப்பு மற்றும் திரட்டலுக்கான சாத்தியமான விளக்கத்தை வழங்குகிறது.
இந்த கருதுகோளின் ஆரம்ப அறிகுறிகளை தெளிவுபடுத்த, மூல மாதிரிகள் மேற்பரப்புக்கு அருகில் தானிய உருவாக்கத்தை வெளிப்படுத்த பொறிக்கப்பட்டன.அத்திப்பழத்தில் தானியங்களின் ஒப்பீடு.S3 துணைப் பொருளில் காட்டப்பட்டுள்ளது.கூடுதலாக, LSFL-I மற்றும் LSFL-II ஆகியவை சூடான மாதிரிகளில் குழுக்களாக தோன்றின.இந்த கொத்துகளின் அளவு மற்றும் வடிவியல் தானிய அளவு ஒத்துள்ளது.
மேலும், HSFL அதன் வெப்பச்சலன தோற்றம் 19,29,48 காரணமாக குறைந்த ஃப்ளக்ஸ் அடர்த்தியில் குறுகிய வரம்பில் மட்டுமே நிகழ்கிறது.எனவே, சோதனைகளில், இது பீம் சுயவிவரத்தின் சுற்றளவில் மட்டுமே நிகழ்கிறது.எனவே, HSFL ஆனது ஆக்ஸிஜனேற்றப்படாத அல்லது பலவீனமான ஆக்சிஜனேற்றம் கொண்ட பரப்புகளில் உருவாக்கப்பட்டது, இது சிகிச்சையளிக்கப்பட்ட மற்றும் சிகிச்சையளிக்கப்படாத மாதிரிகளின் ஆக்சைடு பின்னங்களை ஒப்பிடும் போது தெளிவாகத் தெரிந்தது (அட்டவணை reftab: உதாரணத்தைப் பார்க்கவும்).ஆக்சைடு அடுக்கு முக்கியமாக லேசரால் தூண்டப்படுகிறது என்ற அனுமானத்தை இது உறுதிப்படுத்துகிறது.
LIPSS உருவாக்கம் பொதுவாக இடை-துடிப்பு பின்னூட்டத்தின் காரணமாக பருப்புகளின் எண்ணிக்கையைச் சார்ந்தது என்பதால், துடிப்பு ஒன்றுடன் ஒன்று அதிகரிப்பதால் HSFL களை பெரிய கட்டமைப்புகளால் மாற்றலாம்.குறைவான வழக்கமான HSFL ஆனது LSFL-II உருவாவதற்குத் தேவையான குறைவான வழக்கமான தீவிரத்தன்மை வடிவத்தை (d-mode) விளைவிக்கிறது.எனவே, \(o_\mathrm {p}\) இன் ஒன்றுடன் ஒன்று அதிகரிக்கும் போது (de இல் இருந்து படம் 1 ஐப் பார்க்கவும்), LSFL-II இன் ஒழுங்குமுறை குறைகிறது.
இந்த ஆய்வு லேசர் கட்டமைக்கப்பட்ட DLIP சிகிச்சை துருப்பிடிக்காத எஃகின் மேற்பரப்பு உருவ அமைப்பில் அடி மூலக்கூறு வெப்பநிலையின் விளைவை ஆய்வு செய்தது.அடி மூலக்கூறை 21 முதல் 250 டிகிரி செல்சியஸ் வரை சூடாக்குவது, s-துருவமுனைப்பில் 1.75 முதல் 0.87 µm வரை மற்றும் p-துருவமுனைப்பில் 2.33 முதல் 1.06 µm வரை நீக்குதல் ஆழம் குறைவதற்கு வழிவகுக்கிறது என்று கண்டறியப்பட்டுள்ளது.இந்த குறைவு LSFL-I இலிருந்து LSFL-II க்கு LIPSS வகை மாற்றத்தின் காரணமாகும், இது அதிக மாதிரி வெப்பநிலையில் லேசர் தூண்டப்பட்ட மேற்பரப்பு ஆக்சைடு அடுக்குடன் தொடர்புடையது.கூடுதலாக, LSFL-II அதிகரித்த ஆக்சிஜனேற்றம் காரணமாக வாசல் ஃப்ளக்ஸ் அதிகரிக்கலாம்.அதிக துடிப்பு ஒன்றுடன் ஒன்று, சராசரி ஆற்றல் அடர்த்தி மற்றும் சராசரி மறுநிகழ்வு விகிதம் கொண்ட இந்த தொழில்நுட்ப அமைப்பில், LSFL-II இன் நிகழ்வு மாதிரி சூடாக்கத்தால் ஏற்படும் இடப்பெயர்ச்சி இயக்கவியலின் மாற்றத்தால் தீர்மானிக்கப்படுகிறது என்று கருதப்படுகிறது.LSFL-II இன் ஒருங்கிணைப்பு தானிய நோக்குநிலை சார்ந்த நானோவாய்ட் உருவாக்கம் காரணமாக இருக்கலாம் என்று அனுமானிக்கப்படுகிறது, இது LSFL-II க்கு முன்னோடியாக HSFL க்கு வழிவகுக்கிறது.கூடுதலாக, கட்டமைப்பு காலத்தின் மீது துருவமுனைப்பு திசையின் செல்வாக்கு மற்றும் கட்டமைப்பு காலத்தின் அலைவரிசை ஆய்வு செய்யப்படுகிறது.நீக்குதல் ஆழத்தின் அடிப்படையில் DLIP செயல்முறைக்கு p-துருவப்படுத்தல் மிகவும் திறமையானது என்று மாறிவிடும்.ஒட்டுமொத்தமாக, தனிப்பயனாக்கப்பட்ட மேற்பரப்பு வடிவங்களை உருவாக்க DLIP நீக்கத்தின் ஆழத்தைக் கட்டுப்படுத்தவும் மேம்படுத்தவும் செயல்முறை அளவுருக்களின் தொகுப்பை இந்த ஆய்வு வெளிப்படுத்துகிறது.இறுதியாக, LSFL-I இலிருந்து LSFL-II க்கு மாறுவது முற்றிலும் வெப்பத்தால் இயக்கப்படுகிறது மற்றும் அதிகரித்த வெப்ப உருவாக்கம் காரணமாக நிலையான துடிப்பு ஒன்றுடன் ஒன்று மீண்டும் மீண்டும் விகிதத்தில் சிறிய அதிகரிப்பு எதிர்பார்க்கப்படுகிறது24.இந்த அம்சங்கள் அனைத்தும் DLIP செயல்முறையை விரிவுபடுத்துவதற்கான வரவிருக்கும் சவாலுக்கு பொருத்தமானவை, எடுத்துக்காட்டாக பலகோண ஸ்கேனிங் அமைப்புகளைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம்.வெப்ப அதிகரிப்பைக் குறைக்க, பின்வரும் உத்தியைப் பின்பற்றலாம்: பலகோண ஸ்கேனரின் ஸ்கேனிங் வேகத்தை முடிந்தவரை அதிகமாக வைத்திருங்கள், பெரிய லேசர் ஸ்பாட் அளவைப் பயன்படுத்தி, ஸ்கேனிங் திசையில் ஆர்த்தோகனல், மற்றும் உகந்த நீக்கத்தைப் பயன்படுத்துதல்.சரளமாக 28. கூடுதலாக, இந்த யோசனைகள் DLIP ஐப் பயன்படுத்தி மேம்பட்ட மேற்பரப்பு செயல்பாட்டிற்கான சிக்கலான படிநிலை நிலப்பரப்பை உருவாக்க அனுமதிக்கின்றன.
இந்த ஆய்வில், எலக்ட்ரோபாலிஷ் செய்யப்பட்ட துருப்பிடிக்காத எஃகு தகடுகள் (X5CrNi18-10, 1.4301, AISI 304) 0.8 மிமீ தடிமன் பயன்படுத்தப்பட்டன.மேற்பரப்பில் இருந்து ஏதேனும் அசுத்தங்களை அகற்ற, லேசர் சிகிச்சைக்கு முன் மாதிரிகள் கவனமாக எத்தனாலால் கழுவப்பட்டன (எத்தனாலின் முழுமையான செறிவு \(\ge\) 99.9%).
DLIP அமைப்பு படம் 4 இல் காட்டப்பட்டுள்ளது. 532 nm அலைநீளம் மற்றும் 50 MHz அதிகபட்ச மறுநிகழ்வு வீதத்துடன் 12 ps அல்ட்ராஷார்ட் பல்ஸ்டு லேசர் மூலத்துடன் பொருத்தப்பட்ட DLIP அமைப்பைப் பயன்படுத்தி மாதிரிகள் உருவாக்கப்பட்டன.கற்றை ஆற்றலின் இடஞ்சார்ந்த விநியோகம் காசியன் ஆகும்.சிறப்பாக வடிவமைக்கப்பட்ட ஒளியியல் மாதிரியில் நேரியல் கட்டமைப்புகளை உருவாக்க இரட்டை-பீம் இன்டர்ஃபெரோமெட்ரிக் உள்ளமைவை வழங்குகிறது.100 மிமீ குவிய நீளம் கொண்ட ஒரு லென்ஸ், 6.8\(^\circ\) என்ற நிலையான கோணத்தில் மேற்பரப்பில் இரண்டு கூடுதல் லேசர் கற்றைகளை மிகைப்படுத்துகிறது, இது சுமார் 4.5 µm இடைவெளியை அளிக்கிறது.சோதனை அமைப்பைப் பற்றிய கூடுதல் தகவல்களை வேறு இடங்களில் காணலாம்50.
லேசர் செயலாக்கத்திற்கு முன், மாதிரி ஒரு குறிப்பிட்ட வெப்பநிலையில் வெப்பமூட்டும் தட்டில் வைக்கப்படுகிறது.வெப்ப தகட்டின் வெப்பநிலை 21 மற்றும் 250 ° C ஆக அமைக்கப்பட்டது.அனைத்து சோதனைகளிலும், ஒளியியலில் தூசி படிவதைத் தடுக்க ஒரு வெளியேற்ற சாதனத்துடன் இணைந்து சுருக்கப்பட்ட காற்றின் குறுக்குவெட்டு ஜெட் பயன்படுத்தப்பட்டது.கட்டமைப்பின் போது மாதிரியை நிலைநிறுத்த ஒரு x,y நிலை அமைப்பு அமைக்கப்பட்டுள்ளது.
முறையே 99.0 முதல் 99.67 \(\%\) பருப்புகளுக்கு இடையே ஒரு மேலோட்டத்தைப் பெற, நிலைப்படுத்தல் நிலை அமைப்பின் வேகம் 66 முதல் 200 மிமீ/வி வரை மாறுபடுகிறது.எல்லா சந்தர்ப்பங்களிலும், மறுநிகழ்வு விகிதம் 200 kHz ஆக நிர்ணயிக்கப்பட்டது, மேலும் சராசரி சக்தி 4 W ஆக இருந்தது, இது 20 μJ இன் துடிப்புக்கு ஆற்றலைக் கொடுத்தது.DLIP சோதனையில் பயன்படுத்தப்படும் பீம் விட்டம் சுமார் 100 µm ஆகும், இதன் விளைவாக உச்ச லேசர் ஆற்றல் அடர்த்தி 0.5 J/cm\(^{2}\) ஆகும்.ஒரு யூனிட் பகுதிக்கு வெளியிடப்படும் மொத்த ஆற்றல், \(o_{\mathrm {p}}\) = 99.0 \(\%\), 100 J/cm க்கு 50 J/cm\(^2\) உடன் தொடர்புடைய உச்ச திரள் சரளமாகும். \(^2\) \(o_{\mathrm {p))\)=99.5\(\%\) மற்றும் 150 J/cm\(^2\) \(o_{ \mathrm {p} }\) ) = 99.67 \(\%\).லேசர் கற்றையின் துருவமுனைப்பை மாற்ற \(\lambda\)/2 பிளேட்டைப் பயன்படுத்தவும்.பயன்படுத்தப்படும் ஒவ்வொரு அளவுருக்களுக்கும், மாதிரியில் தோராயமாக 35 × 5 மிமீ\(^{2}\) பரப்பளவு அமைக்கப்பட்டுள்ளது.அனைத்து கட்டமைக்கப்பட்ட சோதனைகளும் தொழில்துறை பொருந்தக்கூடிய தன்மையை உறுதிப்படுத்த சுற்றுப்புற நிலைமைகளின் கீழ் நடத்தப்பட்டன.
மாதிரிகளின் உருவவியல் 50x உருப்பெருக்கம் மற்றும் 170 nm மற்றும் 3 nm இன் ஆப்டிகல் மற்றும் செங்குத்து தெளிவுத்திறனுடன் கூடிய கன்ஃபோகல் மைக்ரோஸ்கோப்பைப் பயன்படுத்தி ஆய்வு செய்யப்பட்டது.சேகரிக்கப்பட்ட நிலப்பரப்பு தரவு பின்னர் மேற்பரப்பு பகுப்பாய்வு மென்பொருளைப் பயன்படுத்தி மதிப்பீடு செய்யப்பட்டது.ISO 1661051 இன் படி நிலப்பரப்புத் தரவிலிருந்து சுயவிவரங்களைப் பிரித்தெடுக்கவும்.
6.0 kV வேகமான மின்னழுத்தத்தில் ஸ்கேனிங் எலக்ட்ரான் நுண்ணோக்கியைப் பயன்படுத்தி மாதிரிகள் வகைப்படுத்தப்பட்டன.மாதிரிகளின் மேற்பரப்பின் இரசாயன கலவை 15 kV வேகமான மின்னழுத்தத்தில் ஆற்றல்-பரவக்கூடிய எக்ஸ்-ரே ஸ்பெக்ட்ரோஸ்கோபி (EDS) இணைப்பைப் பயன்படுத்தி மதிப்பிடப்பட்டது.கூடுதலாக, 50x நோக்கத்துடன் கூடிய ஆப்டிகல் நுண்ணோக்கி மாதிரிகளின் நுண் கட்டமைப்பின் சிறுமணி உருவ அமைப்பைத் தீர்மானிக்கப் பயன்படுத்தப்பட்டது. அதற்கு முன், மாதிரிகள் 50 \(^\circ\)C இன் நிலையான வெப்பநிலையில் ஐந்து நிமிடங்களுக்கு ஒரு துருப்பிடிக்காத எஃகு கறையில் ஹைட்ரோகுளோரிக் அமிலம் மற்றும் நைட்ரிக் அமிலத்தின் செறிவு 15-20 \(\%\) மற்றும் 1\( -<\)5 \(\%\), முறையே. அதற்கு முன், மாதிரிகள் 50 \(^\circ\)C இன் நிலையான வெப்பநிலையில் ஐந்து நிமிடங்களுக்கு ஒரு துருப்பிடிக்காத எஃகு கறையில் ஹைட்ரோகுளோரிக் அமிலம் மற்றும் நைட்ரிக் அமிலத்தின் செறிவு 15-20 \(\%\) மற்றும் 1\( -<\)5 \(\%\), முறையே. பெரெட் எடிம் ஒப்ராசிஸ் டிராவிலி ப்ரி போஸ்டோயனாய் டெம்பெரடுரே 50 \(^\ சர்க்\)சஸ் வி டெக்னிஸ் பைட் மினுட் க்ராஸ்க் соляной и азотной кислотами концентрацией 15-20 \(\%\) மற்றும் 1\( -<\)5 \( \%\) соответственно. அதற்கு முன், மாதிரிகள் 50 \(^\circ\)C இன் நிலையான வெப்பநிலையில் ஐந்து நிமிடங்களுக்கு துருப்பிடிக்காத எஃகு வண்ணப்பூச்சில் ஹைட்ரோகுளோரிக் மற்றும் நைட்ரிக் அமிலங்களுடன் 15-20 \(\%\) மற்றும் 1\( -<\)5 \( \%\) முறையே.在此之前，样品在不锈钢染色液中以50 \(^\ சுற்று\)சி和1\( -<\)5 \ (\%\),分别。.在此之前，样品在不锈钢染色液中以50 \(^\circ\)C (\%\), 分别。அதற்கு முன், ஹைட்ரோகுளோரிக் மற்றும் நைட்ரிக் அமிலங்கள் 15-20 \(\%\) மற்றும் 1 செறிவு கொண்ட துருப்பிடிக்காத எஃகுக்கான கறை படிந்த கரைசலில் 50 \(^\circ\)C இன் நிலையான வெப்பநிலையில் மாதிரிகள் ஐந்து நிமிடங்கள் ஊறுகாய் செய்யப்பட்டன. \.(-<\)5 \ (\%\) соответственно. (-<\)5 \ (\%\) முறையே.
(1) லேசர் கற்றை, (2) \(\லாம்ப்டா\)/2 தகடு, (3) ஒரு குறிப்பிட்ட ஆப்டிகல் உள்ளமைவு கொண்ட டிஎல்ஐபி ஹெட், (4) உட்பட இரண்டு-பீம் டிஎல்ஐபி அமைப்பின் சோதனை அமைப்பின் திட்ட வரைபடம் ) ஒரு சூடான தட்டு, (5) ஒரு குறுக்கு திரவம் , (6) x,y பொருத்துதல் படிகள் மற்றும் (7) துருப்பிடிக்காத எஃகு மாதிரிகள்.இடதுபுறத்தில் சிவப்பு நிறத்தில் வட்டமிடப்பட்ட இரண்டு மிகைப்படுத்தப்பட்ட விட்டங்கள், \(2\theta\) கோணங்களில் (s- மற்றும் p-polarization இரண்டும் உட்பட) மாதிரியில் நேரியல் கட்டமைப்புகளை உருவாக்குகின்றன.
தற்போதைய ஆய்வில் பயன்படுத்தப்படும் மற்றும்/அல்லது பகுப்பாய்வு செய்யப்பட்ட தரவுத்தொகுப்புகள் நியாயமான கோரிக்கையின் பேரில் அந்தந்த ஆசிரியர்களிடமிருந்து கிடைக்கின்றன.
இடுகை நேரம்: ஜன-07-2023